웨이퍼디스토션 - wafer distortion

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

기계적인 칼과 열과 적층막의 응력 등의 영향에 의해 발생하는, 웨이퍼의 변형을 가리키는 것.