웨이퍼 디스크 - wafer disk

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

배치처리가 가능하도록 웨이퍼 여러 장을 정전할 수 있도록 한 원판. 주입균일성을 확보하고 열에 의한 웨이퍼의 데미지(demage)를 피하기 위해 고속회전하고, 또 동시에 병진운동하기도 한다.