웨이퍼냉각 스테이지 - wafer cooling stage

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

반도체제조장치에서 장착된 고온의 웨이퍼를 냉각하는 부분. 냉각 스테이션(cooling station)이라고도 부르며, 산화․열처리(anneal)장치와 레지스트 처리장치에도 존재한다.