기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

웨이퍼 자동 이송장치 - wafer automatic transfer system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00
카세트에서 각 처리장치에 웨이퍼를 1장씩 또는 여러 장씩 자동적으로 이송시키는 장치. 카세트스테이지, 웨이퍼반송 로봇 및 인터페이스로 구성되어, 카세트반송 로봇과 한 세트가 되어 사용되는 경우가 많다.