초대규모 집적회로(very large-scale integration 또는 very large-scale integrated circuit). 칩당 소자수(집적도)가 100000개 이상의 반도체 집적회로. 1칩에 1만 게이트 이상의 것을 말한다. VLSI는 미세 가공을 할 수 있는 전자빔이나 X선을 써서 가공된다. 반도체 집적회로는 집적 회로를 구성하는 부품 수의 집적 규모에 따라서 소규모 집적 회로 (SSI),중규모 집적 회로(MSI),대규모 집적 회로(LSI)라고 부른다.