외관검사장치 - visual inspection system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

마스크의 패턴 결함과, 패턴의 모양, 유리표면의 흠, 오염, 얼룩 등을 레이저광과 투과광을 이용하여 자동적으로 검사하는 장치.