기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

수직축회전테이블형평면연삭반 - vertical spindle rotary table surface grinding machine

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00
회전운동하는 원형 테이블을 가진 입축평면연삭반. (웨이퍼절단후의 평면연삭 또는 소자가 만들어진 웨이퍼의 뒷면연삭(back grinding)에 사용된다.)