수직형저압 CVD - vertical low pressure system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

반응관과 히터를 수직으로 배치한 저압CVD장치. 수평형에 비하여 설치면적이 작고, 로드락(loadlock)이 용이하여 주류를 이루고 있다.