액체기화 CVD - vaporized solution source CVD

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

액체재료를 기화시켜 웨이퍼 표면에 공급하여, 박막을 형성하는 CVD. 최근에는 BST, SBT 등의 강유전체박막을 형성할 때에도 이용된다.