기상 에피택셜 성장장치 - vapor phase epitaxial growth system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

고온기상 중에서의 화학반응을 이용하여 웨이퍼 위에 실리콘, 화합물반도체 등의 단결정층을 성장시키는 장치. 상압기상에피택셜성장장치, 저압기상에피택셜성장장치, 유기금속기상에피택셜성장장치, 광기상에피택셜성장장치 등으로 구분된다.