기상세정장치 - vapor phase cleaning equipment

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

화학약품증기와 가스를 불화성가스로 희석시켜 반응실로 보내어, 세정물의 표면오염물을 기화하기 쉬운 반응생성물로 변화시켜 제거하는 장치.