튜브제어기 - tube controller

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

산화, 확산, CVD장치로 석영 또는 SiC의 반응관을 사용하여 공정처리를 하는 장치에 있어서, 각 반응관마다 처리공정이 다를 수 있어, 튜브마다 온도․압력․가스의 종류 및 가스유량․시간을 개별적으로 제어하기 위한 제어기.