트렌치식각 - trench etching

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

실리콘 웨이퍼 중에 미세하게 패인 홈을 형성하는 식각. 소자분리층, 커패시터층을 형성할 때 사용된다.