토탈오버레이 정밀도 - total overlay accuracy

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼처리의 모든 공정이 끝난 후, 최종적으로 웨이퍼 위에 형성된 전층의 패턴간의 중복 정밀도.