TIR - total indicator reading

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

흡착고정 등에 의해, 웨이퍼 표면을 평면으로 교정한 상태에서, 지정된 글로벌 표면기준면에서의 FAQ 안의 웨이퍼표면높이의 최대값과 최소값의 차.