기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
가스공급센터 - total gas supply system
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
반도체제조공장에 인접하여 설치되어, 반도체제조공정에서 사용되는 벌크가스, 캐리어가스, 특수재료가스 및 계장용에어를 일괄하여 공급하기 위한 시설.
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