타임 모듈 레이션식각 - time modulation etching

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

플라즈마의 발생과 바이어스 전원의 온/오프 등을, 마이크로 초(micro-second)에서 밀리 초(millisecond)까지의 차수로 시간변조시켜 식각하는 방법. 플라즈마를 펄스변조하여 식각하는 방법을 특히, 펄스변조식각이라고 한다.