TTL 정렬 - through - the - lens alignment

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

투영광학계를 매개로 웨이퍼 위에 정렬 마스크를 계측하면서 정렬하는 것. 투영광학계의 오차를 제거할 수 있다는 이점이 있다.