기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
박막형성장치 - thin film deposition system
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
마스크 블랭크에 박막을 붙이는 장치로, 스퍼터링(sputtering)장치․CVD장치․진공 증착장치 등이 있다.
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