열산화장치 - thermal oxidation furnace

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

가열한 반응관 안의 웨이퍼에 산소 또는 물분자를 공급한 후, 고온에서 열산화반응을 일으켜, 웨이퍼에 산화막을 형성시키는 장치.