열확산장치 - thermal diffusion furnace

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

온도와 가스유량을 제어하여 p형, n형의 불순물을 웨이퍼 속에 열확산하기 위한 장치. 반응관 및 히터의 배치방법에 의한 수평형열확산장치, 수직형열확산장치로 구분된다.