열CVD장치 - thermal CVD system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

CVD반응의 여기에너지(excitation energy)로써, 열을 이용한 장치의 총칭. 열의 발생원으로써 저항가열방식과 적외선램프 가열방식이 있다. 반응실 안의 가스압력에 의해, 상압CVD장치와 저압CVD장치로 구분된다.