열챔버 - thermal chamber

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

항온기능 및 필요에 대응하여 항습기능, 전자파대책기능 등을 갖는 클린벤치, 클린부스(clean booth) 또는 클린챔버. 주로 핫리소그래피 등의 항온성이 필요한 공정에 이용되며, 정밀도는 ±0.1。C 및 ±0.01。C의 기종이 있다.