기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
온도변화 프로필 - temperature up and down profile
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
웨이퍼 등을 열처리할 때의 온도변화와 처리시각과의 관계를 표시하는 패턴. 열처리의 재현성 향상, 웨이퍼의 휨, 왜곡의 발생을 막기 위해 온도변화패턴을 프로그램제어하는 경우가 있다.
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