기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
직렬정전 가속기 - tandem electrostate accelerator
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
대지전위을 갖는 이온원에서 발생된 음이온을, 양의 전위를 갖는 고전압부로 향하게 하고 정전계로 가속시킨 후, 고전압부에 설계된 전하변환기로 이 음이온을 양이온으로 변화시키고, 이번에는 이 양이온을 대지전압로 향하게 하여, 정전계로 다시 가속하여, 원하는 에너지의 이온을 얻는 방식의 이온주입장치. 높은 에너지의 이온을 생성하기 위해 이용된다.
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