정반요동기구 - table oscillation

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

연마정반을 포함한 구동부를 수평으로 왕복운동시키는 기구. 웨이퍼에 대한 연마조건을 균등화시킬 목적으로 사용된다.