표면마이크로파애싱장치 - surface microwave asher

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

석영챔버에 직접 고주파나 마이크로파를 인가하지 않고, 유전체에 인가한 후, 그 표면파로 플라즈마를 발생시키는 장치. 플라즈마의 균일성이 개선되어 광범위한 균일 플라즈마를 얻을 수 있다.