부착입자오염 - surface contamination by particulate

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

물체의 표면이 입자에 의해 오염되는 것, 또는 오염된 상태. 물체표면에의 부유미립자의 부착은 정전기력(쿨롱의 힘), 중력, 브라운확산 등이 관여하지만, 2㎛이하의 미립자에는 오로지 정전기력 뿐이다.