표면오염 - surface contaminat - ion

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼의 표면에, 가공정밀과 디바이스 특성에 악영향을 주는 물질이 부착되는 것. 표면에 부착된 입자, 유기분자, 금속불순물과 더불어, 최근에는 자연산화막도 세정 대상에 포함된다.