서브마스터 - submaster

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼를 흡착하여 고정하는 테이블. 보통 서브마스터는 모방방식에 의해 동작하는 마스터테이블에 설치된다.