기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

스트링거 피켓 펜스 - stringer picket fence

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00
단차가 심한 상층막을 이방성 식각할 때, 하층막의 옆면에 상층막의 일부가 벽처럼 남아있는 잔재(residue material). 이것을 없애기 위해서는 오버에칭을 하거나, 추가적인 식각이 필요하다.