주사스텝식 투영노광 장치 - step - and - scan projection aligner

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

주사식 투영노광장치와 같은 모양의 동기주사방식으로 각 샷의 노광을 행하고, 또 기판을 반복스텝하여 동일한 기판 위에 여러 샷의 노광을 행하는 투영노광장치.