기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

표준패턴 비교법 - standard pattern comparision

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00
검사하려는 마스크의 패턴을 미리 준비한 표준 마스크의 패턴과 비교하여, 일치하지 않는 부분을 패턴결함으로 인식하는 검사법