스테이지 제어계 - stage control system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

스테이지의 위치를 결정하기 위한 일련의 제어계. 스테이지의 위치․속도․방향 등의 파라메터 설정 및 전송수단․제어회로․구동부 등의 하드웨어 및 이것들을 총괄 제어하는 소프트웨어로 이루어져 있다.