스퍼터링률 - sputterig yield

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

입사 이온 또는 중성입자 1개와, 타겟 표면에서 튀어나온 원자 또는 분자수와의 통계적 비율. 스퍼터링률은 이온의 종류와 에너지의 크기, 이온의 입사각, 타겟 재료 및 타겟의 결정구조, 면의 방향에 따라 변한다.