스퍼터건 스퍼터링 방식 - sputter - gun sputtering system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

원추형(圓錐形)의 타겟 뒤에 자기회로를 가지고, 타겟표면에 평행한 자계를 발생시키는 캐소드를 가진 마그네트론 스퍼터링장치. 타겟의 모양이 특징이며, 타겟 사용효과가 뛰어나다.