스프레이 현상장치 - spray developer

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

레지스트를 노광하고 현상할 때, 현상액을 펌프등으로 가압(加壓)하여, 펌프 앞부분의 노즐로 분무(噴霧)한 액을 웨이퍼에 배출시켜 현상하는 장치. 항상 새로운 액이 레지스트의 표면에 공급되기 때문에, 현상시간이 단축된다.