스폿노광수정장치 - spot - beam exposure repair system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

레지스트를 도포한 마스크에 점 모양의 자외선을 조사하여, 마스크의 백결함을 수정하는 장치. 결상광학계를 이용하여 파일럿광(光)으로 수정위치를 확인하고, 개구상을 마스크 위에 결상시킨 레지스트를 노광하여, 리프트온법에 의해 수정하는 것.