스플래시백 컵내 미스트 - splash back mist in bowl

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

레지스트 도포중에, 웨이퍼 표면 위를 날라 다니는 잉여 레지스트가 웨이퍼 표면에 다시 부착되는 것. 또는 현상액을 배출(吐出)할 때, 미세한 액체 방울이 건조 후의 웨이퍼 표면에 다시 부착되는 것. 대부분 필라멘트 모양으로 잔재하여, 현미경관찰 또는 레이저광을 이용하여 면검사한다.

전체 게시물 보기