스핀현상장치 - spin developer

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼를 회전시켜서, 레지스트의 현상, 세정, 건조하는 장치. 액의 공급방식에 따라, 스프레이형, 퍼들(puddle)형으로 구분되며, 또 웨이퍼의 회전상황에 의해 회전형과 정지형이 있다. 액공급계, 스핀모터, 컵의 조합으로 구성되어 있다. 액제사용, 알칼리수용액사용 등의 사용액의 종류에 따라 형식이 달라지는 것도 있다.

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