스핀세정장치 - spin cleaner

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼를 회전시키면서 순수(純水)를 부어주어 세정하는 장치. 이 세정장치를 플로트의 다이싱 톱에 결합시키는 것이 일반적이다.