스핀 척 - spin chuck

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

레지스트 도포 등에 있어서, 웨이퍼를 회전시키는 지지체. 보통 진공흡착하여 웨이퍼를 고정한다.