특수재료가스 반도체제조용재료가스 - specific material gas material gas for semiconductor fabrication

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

반도체디바이스의 각 제조공정에 사용되는 가스. 막성장에 있어서 막의 재료가 되는 것, 가공 및 세정에 있어서는 구성재료를 제거하는 데 이용되는 것을 말한다.