고상 에피택셜 성장장치 - solid phase epitaxial growth system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

단결정 웨이퍼 위에 다결정 또는 비결정층(amorphous layer)을 열처리하여 단결정층을 성장시키는 장치.