소프트랜딩 - soft landing

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

횡형(수평형)의 열산화 장치, 열확산 장치 및 열CVD 장치에서 공정튜브에 웨이퍼 보트를 넣거나 뺄 때, 튜브 안의 관에 접촉하지 않고 실행하며, 파티클의 발생을 막는 기능이 있는 반송장치.