슬로우벤트 소프트벤트 - slow vent soft vent

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

파티클이 발생하는 것을 방지하기 위해, 진공인 튜브를 대기압으로 바꾸는 공정에서, 컨덕턴스를 조여 느린 속도로 공기가 튜브 안에 들어오도록 하는 것.