슬로우펌핑 소프트배기 - slow pumping slow roughing soft roughing

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

파티클이 발생하는 것을 방지하기 위해, 대기압 상태인 챔버를 진공상태로 바꾸는 공정에서 컨덕턴스를 조여 느린 속도로 공기를 챔버 밖으로 방출하는 것