사이트FPD - site FPD

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

흡착고정 등에 의해, 웨이퍼 뒷면을 평탄하게 교정한 상태에서, 각 사이트마다 지정된 초점면에서의 각 사이트표면에서의 최대거리.