샷타임변조 - shot time modulation

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

근접 효과 보정 수단의 하나로, 도형의 치수 정밀도를 향상시키기 위해 도형 치수에 맞춰, 샷 하는 노광시간을 변화시키는 것