샷 분할 - shot partition

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

성형빔(정사각형 빔)방식의 전자빔 묘화장치에 있어서, 묘화되는 패턴을 실제 조사(照射)하는 빔에 대응하는 크기 혹은 형상으로 분할하는 것.